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两款吉时利SMU数字源表 解决低电流高电容测试挑战

  吉时利 4200A-SCS 参数分析仪推出两个全新的电源量测设备(SMU)数字源表,即使应用因采用较长的电缆和复杂的测试设定而存在高负载电容,使用者仍可顺利执行低电流量测。面临此严苛挑战的着名测试应用包括LCD显示器制造和晶圆的奈米FET装置测试。


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吉时利 4200A-SCS 参数分析仪的数字源表非常适合包含高测试连接电容、不稳定的低电流测量等应用


  全新的4201-SMU和4211-SMU专为使用长电缆、开关矩阵、Chunk的闸极触点和其他治具的测试设定而设计。即使在待测装置本身的电容极低的情况下,此类测试设定(许多低电流量测应用中常见的需求)也会增加SMU输出端的电容。当测试连接电容过高时,最终的低电流量测结果就可能会变得不稳定。


  为了应对这些挑战,新数字源表可使用比传统 SMU 更长的电缆或更大的连接电容来输出电压并量测电流。这将能为研究人员和制造测试工程师省下了原先耗费在疑难排解和重新配置测试设定上的时间和成本。


  Tektronix 旗下的吉时利系统与软体总经理Peter Griffiths表示:“现今的产品纷纷降低电流位准以节省宝贵的能源,但随之而来的是,详尽复杂的测试设定所产生的高负载电容即成为日益严重的问题,就如同测试最终用于智慧型手机或平板电脑的大型LCD面板的情况一样。我们的新数字源表擅长进行稳定的低电流量测,并能立即使许多现有和未来的客户受益。”


  在最低的支援电流量测范围内,4201-SMU和4211-SMU可输出至比现今容量高1,000倍的电容系统并进行量测。例如,若电流位准介于 1 至 100 pA (picoamp) 之间,则全新的吉时利数字源表在高达1μF(微法拉)负载电容的情况下仍可保持稳定。相较之下,在量测稳定性下降之前,竞争产品所能承受的最大负载电容仅为1,000pF(picofarad),足足相差了1,000倍。


  使用者可以订购4201-SMU和4211-SMU,并预先配置4200A-SCS以取得完整的参数分析解决方案,或针对现有设备进行现场升级。升级时,无需将设备送至服务中心即可轻松地在现场完成升级,节省数周的停机时间。


  4200A-SCS是可自订且完全整合的参数分析仪,可提供对电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快速脉冲I-V特性分析的同步详细资料,进而加速半导体、材料以及制程开发和制造等程序。每部4200A-SCS可配置高达9个SMU,且系统的Clarius软体使用者介面更提供了便利的“触控-滑动”或“指向-点选”控制功能,可用于进阶测试定义、参数分析、图形化和自动化功能,让使用者能轻松进行现代化的半导体、材料和制程特性分析。


  4201-SMU和4211-SMU 数字源表现已在全球各地销售。


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