为什么KEITHLEY吉时利源表可以用于四探针法?

　　为什么KEITHLEY吉时利源表可以用于四探针法?

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　　电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数。为了表示工艺质量和材料混合，有必要测试材料的电阻率。

　　四探针法是目前测定半导体材料电阻率的常用方法，该方法设备简单，操作方便，测量精度高，对样品形状没有严格要求。

　　四探针法操作规范:要求用四探针等间距接触材料表面;在外两个探针之间输出电流的同时，测试中间两个探针的电压差;最后，通过样品的几何参数、输出电流源和测量电压值来计算电阻率。

　　为什么KEITHLEY吉时利源表可以用于四探针法?

　　许多工程师选择吉时利公司开发的高精度源表，因为它可以简化测试连接，获得准确的测试结果。吉时利源表不仅可以测试输出电流时的电压，还可以测试输出电压时的电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级。吉时利源表支持四线开尔文模式，非常适合四探测试。这里配有吉时利2400系列源表(2450/2460)。

　　四探针测试方案能带来什么好处?

　　阅读方便:系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国家硅单晶电阻率测试标准。测试结束后，计算结果直接从计算机读取，便于后续数据的处理和分析。

　　高精度：提供正/反电流换向试验，可消除热电势误差的影响，提高测量精度值。

　　适用性强:四探针采用碳化钨材质，间隔1毫米，探针位置正确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程。根据材料的不同，提供各种间隔、针尖直径的针选项。

　　弹性好：探针台具有粗/细两级高度调节，细调时，高分辨率高达2微米，精确控制探针头与被测物体之间的距离，防止针头对被测物体造成

　　误差较小:货盘表面采用绝缘特氟隆层，减少漏电流引起的测试误差。