吉时利6514型静电计电压测量有哪些优点

　　吉时利6514型静电计具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。

　　KEITHLEY吉时利6514型静电计特点：

　　(1)<1fA 噪声;

　　(2)电压测量时，输入阻抗>200TΩ;

　　(3)电荷测量范围：10fC-20µC;

　　(4)速度可达1200个读数/秒;

　　(5)简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器;

　　(6)主动消除电压与电流的偏移。

　　吉时利6514型静电计是高阻、微弱电流及静电测量领域的标杆设备，其在电压测量方面的优势主要围绕超高输入阻抗、极低噪声和精密稳定性设计，尤其适用于高阻源电压(如压电传感器、静电材料)和微弱信号的测量。以下是其核心优点：

　　一、超高输入阻抗：解决负载效应难题

　　输入阻抗：>10¹⁴ Ω(典型值)，并联电容<20pF

　　价值：

　　●测量高阻源电压(GΩ~TΩ级)时几乎不引入负载误差(例如压电陶瓷、光电二极管偏置电压)。

　　●传统万用表(10MΩ)或普通静电计(10¹²Ω)在高阻测量中会显著拉低被测电压，6514可保持信号真实性。

　　二、极低噪声与高分辨率：捕捉微弱信号

　　电压噪声：< 3μV_p-p(在1s积分时间下)

　　最小可测电压：0.1μV(在100nV量程)

　　价值：

　　●精准测量μV级弱电压(如热电偶微小输出、生物电信号)。

　　●低噪声基底确保高信噪比(SNR)，避免信号被噪声淹没。

　　三、宽动态范围与高精度

　　●量程范围：100nV ~ 200V(全量程覆盖)

　　●直流精度：±0.05%(1年校准，典型值)

　　价值：

　　•单台设备兼容纳米伏级弱信号与百伏级高压测量(如静电发生器输出)。

　　•长期精度满足计量级测试需求(如校准实验室)。

　　四、低电流注入：避免干扰敏感电路

　　●输入偏置电流：< 3fA(典型值)

　　价值：

　　•测量高阻抗电路时，注入电流可忽略不计，防止被测电路状态被改变(例如MEMS传感器、绝缘材料表面电位)。

　　五、电荷中和功能(Electrometer Mode)

　　●主动电荷中和：

　　通过内部电路自动消除输入端累积的静电荷(如电缆摩擦电荷)。

　　价值：

　　•解决绝缘体表面电位测量的漂移问题(如晶圆静电分布测试)。

　　•提升重复性，避免虚假读数。