吉时利4200-SCS型半导体特征分析系统的测试应用

　　吉时利4200A-SCS型半导体特征分析系统是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为高性能的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

　　4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。

　　4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。

　　主要性能指标

　　I-V 源测量单元(SMU)

　　•± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

　　•100 fA测量分辨率

　　•选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

　　•10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

　　•100 μF负载电容

　　•四象限操作

　　•2 线或 4 线连接

　　C-V 多频率电容单元(CVU)

　　•AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

　　•1kHz - 10 MHz 频率范围

　　•± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

　　•选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

　　•两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

　　•200 MSa/s，5 ns 采样率

　　•±40 V (80 V p-p)，±800 mA

　　•瞬态波形捕获模式

　　•任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

　　高压脉冲发生器单元(PGU)

　　•两个高速脉冲电压源通道

　　•±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

　　•任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

　　•在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

　　•把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)

　　•在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

　　•把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

　　•降低电缆电容效应

　　为材料、半导体器件和工艺开发提供优秀的参数分析仪

　　使用强大的Clarius 软件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试，结果清晰明了。

　　容易使用的吉时利4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，WindowsNT操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。