吉时利 6514 静电计（高阻电表）的测试功能介绍

　　吉时利 6514 静电计产品特点

　　● 测量低电流和高压、电阻和电荷

　　● 高达 10P 的电阻测量

　　● 电流灵敏度最低 10aA (6430)

　　● 电压负担最低 200mV

　　● 杰出的精度和灵敏度

　　● 根据 ASTM D257 标准执行绝缘电阻系数测量

　　吉时利6514 是无内置激励源的高灵敏静电计，仅测直流信号，四大核心测量模式：直流电流 I、直流电压 V、高阻 Ω、电荷 Q，搭配屏蔽保护、归零、滤波、高速采集等配套功能，主打皮安 / 飞安级微电流、GΩ 超高绝缘电阻、微弱电荷测量。

　　一、四大基础测量功能(核心测量模式)

　　1. 直流电流测量(I，最强优势)

　　量程：100 aA ~ 20 mA，噪声<1 fA，极低输入压降(最低 20 μV)，适合极小漏电流采集Tektronix

　　可测项目：

　　器件反向漏电流、介质绝缘漏电、芯片 IO 关态漏电

　　光电探测器暗电流(PD/APD 无光照漏流)、微弱光生电流

　　薄膜、绝缘材料微泄电流、MEMS 微小偏置电流

　　半导体晶圆栅漏电流、电容静置漏电流、静电微弱泄放电流

　　特点：低 burden 电压，不会给被测器件引入额外偏置误差，搭配三同轴低噪电缆消除引线漏电。

　　2. 直流电压测量(V)

　　量程：10 μV ~ 200 V，输入阻抗>200 TΩ(超高输入阻，几乎不吸取电流)泰克

　　可测项目：

　　高阻材料、压电材料、驻极体表面静电电位

　　高阻抗传感器开路电压、光电元件开路光电压

　　绝缘介质表面电位、薄膜光伏开路弱电压

　　适用场景：测量高内阻源电压，普通万用表会分流导致读数失真，6514 无分流误差。

　　3. 电阻测量(Ω，高阻测试核心)

　　量程：10 mΩ ~ 200 GΩ，采用恒流激励测压降计算电阻(区别 6517B 恒压测阻)

　　可测项目：

　　1)超高绝缘电阻：PCB 介质、塑料薄膜、陶瓷、绝缘胶、封装树脂、晶圆氧化层绝缘阻值

　　2)半导体关态电阻、电容绝缘内阻、防静电材料表面 / 体电阻

　　3)漏阻、隔离电阻、高阻薄膜、压电材料内阻

　　配套保护屏蔽 Guard 模式：消除夹具、线缆寄生漏电流干扰，大幅提升 GΩ 级电阻测量精度。

　　4. 电荷测量(Q)

　　量程：10 fC ~ 20 μC，积分采集电荷变化量Tektronix

　　可测项目：

　　静电放电 ESD 电荷量、摩擦起电电荷、驻极体存储电荷

　　压电 / 铁电材料受压产生电荷、光电元件积分光电荷

　　电容充放电微量电荷、介质极化电荷漂移

　　原理：内部积分放大器，持续累积微弱电流换算电荷，适合静电、压电类材料表征。

　　二、配套辅助测试功能(提升低电平测量精度)

　　Zero Check 归零校验

　　切换接线、更换器件前一键短路输入，消除仪器零点漂移、线缆寄生漏电，是飞安级测量必备操作。

　　Guard 保护屏蔽

　　三同轴接口屏蔽驱动，抵消 HI-LO 之间线缆 / 夹具漏电阻、分布电容，解决高阻测试漂移、读数跳变问题。

　　滤波 / 平均滤波(AVER)

　　多级数字平均，抑制环境电磁噪声，适合超微弱 aA/fA 电流稳定读数。

　　自动 / 手动量程切换(AUTO RANGE)

　　自动匹配信号大小，也可锁定固定量程提升采集速度;支持定点量程长期监控。

　　延时采样(DELAY)

　　施加偏压后等待设定时间再读数，用于介质吸收电流、极化漏电测试(电容 / 绝缘材料静置漏电曲线)。

　　高速读数采集

　　最高 1200 读数 / 秒，可连续记录电流、电阻、电荷随时间变化曲线，做老化、应力漂移监测泰克。

　　偏移抵消(REL 相对测量)

　　存储基线值，直接显示差值，快速读取增量漏电流、电荷变化量。

　　三、自动化与系统集成功能

　　程控接口：GPIB、RS232，支持 SCPI 指令，适配探针台、高低温箱、自动化测试平台

　　触发采集：外部硬件触发，同步外部设备(电压源、开关矩阵)做组合 I-V / 漏电测试

　　数据存储：本地缓存读数，远程电脑连续记录长时间应力数据

　　兼容多路开关矩阵：搭配吉时利 7001/7002 实现多通道并行漏电、高阻批量分选

　　四、典型行业应用测试项目汇总

　　1. 半导体 / 晶圆

　　栅极漏电流、氧化层绝缘电阻、二极管反向漏流、PD 暗电流、芯片封装漏电、CP 晶圆绝缘筛查

　　2. 光电器件

　　VCSEL/LED 反向漏电、光电二极管暗电流、光伏薄膜开路电压、积分光电荷

　　3. 材料 / 绝缘 / 静电

　　薄膜体电阻 / 表面电阻、陶瓷绝缘电阻、防静电材料、ESD 静电电荷、压电 / 铁电电荷特性

　　4. 无源元器件

　　高压电容漏电流、电阻高阻温漂、继电器隔离绝缘电阻

　　5. MEMS / 传感器

　　微结构漏电流、压电传感器电荷输出、高阻传感元件内阻

　　补充区分(与 6517B 关键差异)

　　吉时利6514无内置高压激励源，只能被动测量;如需主动施加电压测高阻 / 漏电，需外接独立源表(如 2410、4500-MTS)配合使用;6517B 自带 1kV 内置源，可独立完成恒压高阻测试。