低电流高阻测量仪器的电流测量方法

测量电流的两种基本方法是分流电流表法(几乎所有DMM都采用，此方法的电流灵敏度有限)和反

馈电流表法(静电计、皮安表和SMU等仪器使用)。虽然理想电流表电阻为零，但所有实际电流表

都存在内阻。为了最小化负载误差，电流表的内部分流电阻应比DUT电阻小很多。

在衡量一台仪器是否适于低电流应用时，仔细查看准确度指标非常重要。然而，低电流高阻测量

仪器可能采用不同格式来表示准确度，这会使比较变得复杂。增益和失调误差可以结合为百分数

表示的指标以及一系列最低有效位计数表示的指标。准确度还能用百万分率表示。

高阻测量法

虽然可通过源电流/测量电压或者源电压/测量电流的方法测量电阻值，但高阻测量建议采用源电

压/测量电流的方法。可以使用静电计(或皮安表)和电压源进行高阻测量。某些带有内建电压源

的静电计和皮安表能够自动计算电阻值。

SMU还适于测量高电阻。在SMU内部，电流表和电压源采用串联连接。未知电阻连接在SMU的HI施

加端子和LO施加端子之间。用源电压/测量电流法进行高阻测量时，用户必须考虑电压源和电流表的准确度，以及器件连接的完整性。从连接器经过电缆进入测试夹具的整个信号路径都必须经过优化才能保持信号劣化最

小。

电缆和连接器

用于低电流和高电阻测量的两种常见连接器类型是双接头的BNC连接器和三接头的三同轴连接器

。BNC连接器用于屏蔽层包裹单芯导体构成的同轴电缆。在进行高灵敏度测量时，屏蔽电缆具有

最小化噪声的重要作用。三同轴电缆配合SMU使用，因为第三根芯能实现防护测量。

测量高电阻时，应当选择芯与芯之间绝缘电阻高的电缆。质量好的三同轴电缆采用聚乙烯绝缘材

料，而且一根芯专用于屏蔽约为1E12 Ω/ft的绝缘电阻。一定要核对厂家的指标并确保电缆和连

接器都能用于高阻抗测量。同轴电缆和三同轴电缆都有适于低电平测量的低噪声版本。低噪声电

缆的内部石墨涂层能让失调最小。即便普通同轴电缆的漏电流和噪声电流都高于低噪声电缆，但

在某些情况下普通同轴电缆(例如RG-58)就够用了。

电缆电阻值、电容值和漏电流随电缆长度增加而变化，所以尽可能让所有连接电缆长度最短极为

重要。用屏蔽电缆和测试夹具可以防静电。测试光敏器件时，一定要使用遮光的测试夹具。

为避免测量误差，将静电计、SMU或皮安表正确连至DUT非常重要。一定要将仪表的高阻端子连至

被测电路的最高阻抗点。